Tokyo Electron Limited (яп. 東京エレクトロン株式会社, Tōkyō Erekutoron Kabushiki-gaisha) является одной из ведущих компаний в мире, занимающихся производством оборудования для сильнотонкой иммерсионной литографии. Компания была основана в 1963 году и имеет штаб-квартиру в Токио, Япония. Она производит и продает оборудование для производства чипов и микросхем, включая оборудование для иммерсионной литографии, системы для очистки и подготовки поверхности, а также системы для испытания и анализа. Компания является международным поставщиком с представительствами в США, Европе, Китае и других странах.