МЭМС

МЭМС (микроэлектромеханическая система) — это миниатюрная машина, состоящая как из механических, так и из электронных компонентов. Физический размер МЭМС может варьироваться от нескольких миллиметров до менее одного микрометра, что во много раз меньше ширины человеческого волоса.